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-FeSi
films五十嵐 慎一; 勝俣 敏伸; 原口 雅晴; 斉藤 健; 山口 憲司; 山本 博之; 北條 喜一
Transactions of the Materials Research Society of Japan, 28(4), p.1153 - 1156, 2003/12
われわれはイオンビームスパッタ蒸着法により、シリコン基板上に-FeSi薄膜の作製を行ってきた。薄膜の結晶構造は基板洗浄法に依存し、高配向の-FeSi薄膜の作製にはスパッタエッチングが適していることがわかってきた。われわれはスパッタエッチングの条件を変え、-FeSi薄膜の結晶構造の評価をX線回折法・反射高速電子線回折法により行い、エッチングにおける表面非晶質化が結晶構造に及ぼす影響を明らかにした。非晶質層は高配向膜の形成を妨げる。エッチング後の焼鈍による欠陥回復が、高配向-FeSi薄膜には不可欠であることを明らかにした。
松井 浩
エアロゾル研究, 11(4), p.337 - 348, 1996/00
空気モニタリングの精度を明確にし向上させるためには、まず、サンプリング管内のエアロゾル粒子の沈着割合を把握しておくことが必要である。そのため、モデルサンプリング管におけるエアロゾル粒子の沈着割合を、層流域については従来の式を用いて、また、乱流域については最近筆者らが開発した式を用いて算定し、粒子の沈着特性を明らかにするとともに、サンプリング管を用いる場合の適切なサンプリング条件及びサンプリング管の設計条件を考察した。
松井 浩
エアロゾル研究, 8(2), p.153 - 159, 1993/00
粗い壁の管内におけるエアロゾル粒子沈着について、前報の筆者らによる計算式を用いて計算した。計算においては、式に含まれている壁の粗さの影響を示す因子に、これまでに提案されている幾つかのモデルを適用して沈着率を計算し、文献における実験値と比較することにより、いずれのモデルがより適切な結果を与えるかを検討した。その結果、ファニングの管摩擦係数を粗い壁の係数に置き替えるだけで計算する方法が最も実験値に近い結果を与えることが分かった。
湊 和生; 福田 幸朔
Journal of Nuclear Materials, 149, p.233 - 246, 1987/00
被引用回数：57 パーセンタイル：97.08(Materials Science, Multidisciplinary)被覆燃料粒子にSiCを化学蒸着させる実験を、流動床を用いて行なった。原料および流動ガスとして、メチルトリクロロシラン、水素、およびアルゴンを用いた。種々の条件において蒸着を行ない、蒸着物をX線回折法により調べた。蒸着物生成は、蒸着条件により、-SiC、-Sic+Si、または-SiC+Cであった。また、化学蒸着の機構を理解するために、熱力学解析を行なった。ここでの実験条件では、熱力学的に平衡な蒸着物組成は、-SiCまたは-SiC+Cであった。これらの実験および解析の結果から、SiCの化学蒸着の機構に関するモデルを提案した。
松井 浩; 大畑 勉; 吉田 芳和
JAERI-M 6004, 27 Pages, 1975/02
サンプリング用配管内のエアロゾル沈着率を容易に計算できるようにするため、これまでに成立することが明らかになった沈着の式によって、沈着率計算図を作成した。図は、水平直線管における単分散エアロゾルの沈着率を、粒径、管長、流速の種々の値に対して示し、密度、管径については、本図からの換算方法を示した。また、多分散エアロゾルおよび垂直直線管、曲管などの扱い方にも簡単に言及した。
松井 浩; 吉田 芳和; 村田 幹生; 大畑 勉
Journal of Nuclear Science and Technology, 11(7), p.300 - 307, 1974/07
被引用回数：5サンプリング配管におけるエアロゾル粒子の沈着は、濃度評価に誤差を生じさせることになる。水平管の場合、層流域での沈着率は、重力沈降および拡散による沈着の式によって評価できる。乱流域については、二つの方法が提示されている。一つは吉岡らの沈着速度の式を用いる方法であり、他の一つは著者らの外挿法(層流域での沈着式を乱流域へ外挿したものと乱流域での沈着式との和)である。本報では、上記二つの方法の妥当性を実験により検討した。とくに、重力沈降の乱流域での沈着に与える影響、および乱流域での沈着率に対する管璧の粗さの効果について述べる。
